典型特征词：真空泵,真空,检漏仪,复合分子泵,氦质谱检漏仪,氦质谱,氦质谱检漏,转子,检漏,偏心大圆弧,螺杆真空泵,过滤,牵引级,型线,刀具,热流逸,圆弧,转子型线,螺杆,大圆,涡轮级,抽气,自洁式,抽气性能,质谱,叶片,罗茨,内压缩,牵引,过滤器,螺旋升角,滤器,倾角,偏心,真空电子器件,过滤阻力,片上微型真空泵,牵引槽深度,转子与定子间隙,刃形计算,涡轮,中心距,热流,内压,过滤效率,罗茨泵,共轭曲线,叶片倾角,变螺距,微型,真空,高真空,真空系统,控温,梯度控温,LEBT,中子,离子源,白光中子源,氢离子,中子源,束流,快速减压,反角,中子束,CSNS,unity3D,高真空腔体,白光,腔体,环境模拟系统,离子,空腔,控温系统,减压,超高真空,加速器,模拟系统,环境模拟,梯度,质子,试用,MEMS,出气,高能,氢气,RF,超高,虚拟,ANSYS,培训,教学,该系,加速,计算方法,一套