典型特征词：薄膜,ZnO,退火,MoOx,纳米泡,石墨烯纳米泡,光学薄膜,氧气流量,铁磁,光学,氧化锑锡,应力各向异性,磁控,纳米,溅射,TiAlN,磁控溅射,透明导电氧化物,激光,预倾角,微波退火,导电,电性,nm,气凝胶,SiO2,电氧化,激光薄膜,铁磁共振,凝胶,反铁磁,衬底,COF,折射率,退火时间,Cu,椭圆偏振光谱法,透明导电氧化物薄膜,偏压,空间遥感,Bi,光电,液晶,椭圆偏振光谱,微波退火时间,氨水,半金属,Cr2O3,HfO2,超薄,薄膜,滤光,光学,沉积,溅射,滤光片,膜系,光学薄膜,折射率,憎水,纳米,器件,磁控,滤光膜,磁控溅射,AZO,折射,复合薄膜,卷绕,退火,镀膜,光电,掺杂,nm,散射,损耗,离子,透过率,IGZO,反射,光谱,电性,CuCrO2,分光器件,电性能,透过,导电,激光,分光器,能量调节,场发射,离子束,多孔硅,二氧化钛薄膜,波段,光器件,InPBi,谷物色选,纳米硅,氧化钛